UV指的是一種由200~400個同位素組成的波群，內含多種儀器儀表及眾多的傳感器和其他器械組成。利用紫外光對特定物質的響應特性分析，結合光譜吸收算法，可以實現對特定物質的定性定量分析，該方法具有樣品用量小，分析速度快，結果穩定等優點，在醫藥、衛生、化工、食品、環保、農業等領域得到了廣泛應用。常規的UV分析儀是由薄膜光學器件，平面光柵和線陣探測器組成的。但由于紫外光的獨特性，使常規光學器件存在著紫外光譜波段反射率低的問題，同時又使平面光柵的衍射效率降低，光程增大，導致光強變弱，降低了光譜儀的信噪比。近年來，國內外學者對微型化紫外光譜儀進行了大量的研究。日本HAMAMATSU公司在紫外頻段推出了TM系列，該系列采用透射式光柵和非致冷-背照式CCD圖象傳感器，具有極高的分辨率和極高的透射率，但透射式光柵的透射率和衍射效率都很低，而且很難制造。由美國海洋光學公司研制的Maya系列微型UV光譜儀，采用非對稱式光學結構，量子轉換率可達90%，分辨率可達0.1度，非常適合于高光譜應用。但C-T結構對光學器件的需求越來越多，這就造成了安裝和調試的困難，而且這些產品價格昂貴，難以推廣。國產UV產品主要來自上海復享公司，其FX2000是UV的典型代表，但也存在光譜數據輸出不穩定、信噪較低等缺點。采用全息凹面光柵的微型紫外光譜儀，將分光與成像結合在一起，可以有效減小系統像差，提高信噪比和分辨率，降低儀器成本，滿足了市場上對可在線實時監測、便于二次開發的紫外光譜儀的要求。根據激光測光儀的特殊要求，以全息凹面光柵為核心光學器件，結合實際應用環境，建立了紫外光譜儀的測試樣機和測試平臺，并對其進行了性能測試和應用試驗。

微小型傳感器UV光譜儀分析系統的原理與實現。

UV光譜系統的工作原理。

紫外線光譜探測技術用來測量紫外線區域的光，紫外光具有波長短、能量高的特點，當污染物吸收光時，其分子內的電子發生轉移，所產生的分子吸收光譜稱為紫外吸收光譜，它是一種電子躍遷光譜，它吸收波長在200~400nm之間，由于紫外吸收光譜吸收的能量大于紅外吸收光譜，容易檢測到吸收光譜的變化，因此可用于結構識別和定量分析。圖1顯示了紫外光譜探測技術的一般工作過程。首先利用分光計測量樣品數據，這些數據反映樣品的成分或物態信息；然后利用標準參比方法測得樣品的成分或物態信息，并將兩組測得的數據應用相關計量建立校正模型；最后，利用未知樣品的光譜測定及建立的校正模型，快速預測分析樣品的成分或物態。

光系設計和模擬。

光譜分析儀器的核心是光學系統，它直接決定著分析儀器的性能。最常用于微型光譜儀的光學結構是基于C-T平面光柵和全息凹面光柵。C-T的制作成本低，結構緊湊，但是有更多的光學裝置和更復雜的裝配工藝。它具有窄的全息凹面光柵光譜范圍，但是它的凹面光柵是分光的，成像為一體，沒有鬼線，雜散光低，信噪比高，像差小，需要的器件少，安裝方便。

這種光學系統主要由入射狹縫、全息凹面光柵、平面反射鏡、陣列探測器4部分組成，當光源發射出的復合光經入射窄縫進入全息凹面光柵時，經分光聚焦，不同波長的單色光經平面反射鏡反射后，依次集中于平直的象面，最后由線陣CCD探測器獲得光譜信息。

為了減少雜散光，在探測器前及狹縫后采用限束孔技術，提高了系統部件的加工性能。針對儀器內壁二次反射、儀器調節方便可靠等要求，從各個方面綜合考慮，完成了系統結構設計。

關于電路設計，數據采集與傳輸系統主要包括A/D轉換器、FPGA、USB2.0通道，光電檢測系統主要包括濱松S11151-2048線陣CCD探測器。其主要設計思想是采用USB芯片對數據采集系統進行采集控制，并將采集控制命令存入FPGA控制寄存器。FPGA根據該命令向A/D轉換器發出相應的控制信號，在FPGA的邏輯控制下，A/D轉換器將模擬量轉換為數字量，并將指定信道的采樣數據存入緩存區，最后送至計算機。

系統的軟件部分是數據采集與分析，數據庫模塊分為五個主要模塊。在此基礎上，提出了一種基于USB2.0協議的光譜采集模塊，該模塊將硬件的光譜信號讀取到上位機上，并對讀取的光譜信號進行平滑、濾波等基本處理；光譜標定模塊首先實現峰值定位功能，然后通過讀取汞燈特征譜線的特征峰所對應的線陣CCD探測器的每個像元，采用多項式擬合的標定方法對紫外光譜進行定標；圖像顯示和數據存儲模塊主要是通過USB協議將光譜數據以字節形式傳送到上位機上，之后，為了便于用戶分析處理，還對標定前后的光譜信息進行了光譜顯示，并將光譜信號數據按用戶要求的格式存儲到用戶選擇的文件夾中。小型UV光譜儀是煙氣分析儀的技術核心，在線實時分析的UV光譜儀采用IV型光學系統設計，全息凹面光柵減少了光學系統的像差，減少了儀器體積，降低了儀器儀表及傳感器的性能，并能對200~400nm波段的光譜進行精確測量，分辨率達到0.31nm。結果表明，所研制的紫外光譜分析儀性能穩定，能完成差分吸收光譜技術在紫外光譜分析儀性能測試中的應用研究。經試驗初步驗證了紫外光譜分析儀在SO2氣體質量濃度測試中的性能，并對數據和分析結果進行了分析，得出了紫外光譜分析儀的各項性能指標基本達到實用水平；但數據處理算法仍需改進，典型的建模和光譜儀應用場景測試是下一步工作的重點。

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